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著 書 / Books
学術論文 / Technical Journals
国際学会発表 / International Conference Presentation
国内学会発表 / Domestic Conference Presentation
解説記事 / Review Articles
1. | 「半導体研究4巻:エピタキシャル成長」,西澤潤一編、熊川征治、角南英夫、寺崎健、西澤潤一共著,「光気相エピタキシャル法」,pp. 1-13(第4回半導体専門講習会予稿
集) (1969年3月25日), (株) 工業調査会、東京), 1969年。 "Semiconductor Research #4 : Epitaxial Growth," J. Nishizawa (Ed.) S. Kumagawa, H. Sunami, K. Terasaki, and J. Nishizawa(coauthor) , "Light Assisted Epitaxial Growth," pp. 1-13 Kogyochosa-kai, 1969. | ||
2. | 「半導体研究4巻:エピタキシャル成長」、西澤潤一編、角南英夫、西澤潤一共著、「シリコンの気相成長層における積層欠陥の構造」:pp. 15-29、(第4回半導体専門講習会予稿集)、
(1969年3月25日,、(株) 工業調査会、東京), 1969年。 "Semiconductor Research #4 :Epitaxial Growth," J. Nishizawa (Ed.), H. Sunami and J. Nishizawa(coauthor), "Stacking Faults in Silicon Epitaxial Layer," pp. 15-29 Kogyochosa-kai, 1969. |
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3. | 「MOS LSI製造技術」、(徳山魏、橋本哲一編)、角南英夫共著、
「第1章:MOS デバイスの基本特性/第2章:トータル・プロセス」、
pp. 11-48、日経マグロヒル社、1985年。 "MOS LSI Fabrication Technologies," T. Tokuyama & N. Hashimoto(Ed.), H. Sunami(co-author), "1. MOS devices & 2. Total process,", pp. 11-48, Nikkei MacGrow Hill, 1985. | ||
4. | 「半導体研究24巻:超LSI技術, 10超LSI回路とプロセス」、
西澤潤一編、角南英夫、浅井彰二郎共著、「ダイナミックMOSメモリ技術」、pp.51-79、(第24回半導体専門講習会予稿集) (1986年8月15日),
(株) 工業調査会、東京), 1986年。 "Semiconductor Research #24 : VLSI Circuits and Process," J. Nishizawa (Ed.), H. Sunami & S. Asai (coauthor), "Dynamic MOS Memory Technology," pp. 51-79, Kogyochosa-kai, 1986 | ||
5. | 「デバイス材料工学」,
(北田正弘,後藤和弘編), 角南英夫共著, 「第7章:集積回路材料技術」, pp. 136-155、
海文堂、1988年3月。
"Device Material Technology," M. Kitada & K. Goto (Ed.), Hideo Sunami (co-author), "7. Integrated Circuit Material Technology," pp. 136-155, Kaibundo, March 1988. | ||
6. | 「次世代超LSIプロセス技術(基礎編)」, (廣瀬全孝編), 角南英夫共著, 「第2節:トータル プロセス」, pp. 27-39, リアライズ社, 1988年4月. "Advanced VLSI Process Technology," Masataka Hirose(Ed.), H. Sunami (coauthor), " 2. Total process," pp. 27-39, Realize Inc., April 1988. | ||
7. | 「VLSI製造技術」, (徳山薮覆、橋本哲一編)、角南英夫共著:「第1章:MOSデ バイスの基本特性, 2章:トータル・プロセス」, pp. 1-57, 日経BP社、東京、1989年1月。 "VLSI Fabrication Technologies,"T. Tokuyama & N. Hashimoto(Ed.), H. Sunami (co-author), "1. MOS devices & 2. Total process,", pp. 1-57, Nikkei BP, Jan. 1989. | ||
8. | 「月刊Semiconductor World 別冊号」, 角南英夫共著,
「第1章:MOSプロセスフローチヤート - 16MDRAMを例にとって - 」,
pp. 35-41, 1989年11月2日. "Supplement to Monthly Semiconductor World,", Hideo Sunami (co-author), "1. MOS process flow chart -16M DRAM-,"pp. 35-41, Semiconductor World, Nov. 2, 1989. | ||
9. | 「Encyclopedia of Applied Physics, Vol 17」,
米国物理学会, Hideo Sunami共著, "Semiconductor-Device Integration," pp. 181-198, 1996年. "Encyclopedia of Applied Physics," Vol. 17 , AIP, Hideo Sunami(co-author), "Semiconductor-Device Integration," pp. 181-198, 1996. | ||
10. | 「半導体大辞典」,(工業調査会, 菅野卓雄, 川西剛監修),
角南英夫共著:「自己整合技術」, pp. 622-625, 工業調査会,1999年12月。 "Dictionary of Semiconductor Technology, Industry,", Kogyochosa-kai, T. Sugano & G. Kawanoishi (Ed.), Hideo Sunami(co-author), "Self-align technology," pp.622-625, Kogyochosa-kai, Dec. 1999. | ||
11. | 「次世代ULSIプロセス技術」, (広瀬全孝編),
角南英夫共著:「第1章:次世
代ULSIとは, 2章:ULSI集積化
技術」, pp. 3-57,
リアライズ社, 2000年2月。 "Advanced ULSI Process Technology," Masataka Hirose(Ed.), H. Sunami (coauthor), "1. Advanced ULSI, 2. Integration process, " pp. 3-57, Realize Inc., February 2000. | ||
12. | 「マイクロエレクトロニクスにおける高分子材料」, ((社)高分子学会編),
角南英夫共著, 「第1章: ULSIの将来展望と高分子材料への期待」, pp. 3-36,
(社)エヌ・ティー・エス, 2004年7月2日。 "Polymers in Micro Electronics," SPSJ (Ed.), H. Sunami(coauthor), "1. Scope of ULSI and expectatons to polymers," pp. 3-36 N. T. S., July 2, 2004. | ||
13. | 「VLSI工学-製造プロセス編-」, 電子情報通信学会編, 角南英夫著, 204頁, (株)コロナ社, 2006年8月。 → 目次 "VLSI-Fabrication Process," IEICE, H. Sunami, 204 pagers, Corona Pub. Co., Aug. 2006.→ contents . |
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14. | 「2007半導体テクノロジー大全」, Electronic Journal別冊,
角南英夫共著, 「キャパシタ形成技術総論、スタックトキャパシタ形成技術」, pp. 369-375, 電子ジャーナル社, 2007年。
"2007Semiconductor Technology Outlook," Electronic Journal Supplement, H. Sunami (coauthor), "Capacitor technology," pp. 369-375, Electronic Journal Pub. Co., 2007. | ||
15. | 「超大規模集成電路ー基礎・設計・製造工程」, 電子情報通信学会編, 岩田穆、角南英夫共著, 309頁, (株)科学出版社、2008年1月。
"VLSI-design & process," (Ed. : IEICE), A. Iwata & H. Sunami, 309 pages, Science Pub.(china), Jan. 2008. | ||
16. | 「技術者のための特許事始ー半導体技術を中心としてー」, 角南英夫著, 149頁,コロナ社, 2008年1月。 → 目次 "Patent Application Guide for Engineers," H. Sunami, 149 pages, Corona Pub. Co., Jan 2008. | ||
17. | 「半導体メモリ」, 角南英夫著, 196頁, コロナ社, 2008年8月。→
目次
"Semiconductor Memory," H. Sunami, 196 pages, Corona Pub. Co., Aug. 2008. → contents | ||
18. | 「メモリデバイス・
イメージセンサ」, 角南英夫・川人祥二編著, 292頁, 丸善, 2009年12月。 → 目次
"Memory Device and Image Sensor," H. Sunami (co-author) and S. kawahito, 292 pages, Maruzen, December 2009. |
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19. | 「Solid State Circuits Technologies」,
角南英夫著, "Dimension Increase in Metal-Oxide-Semiconductor Memories and Transistors,"
1-26頁, In-Tech, 2009年12月。
"Solid State Circuits Technologies," H. Sunami (co-author), " Dimension Increase in Metal-Oxide-Semiconductor Memories and Transistors," 1-26 pages, In-Tech, Dec. 2009. |
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学術論文 / Technical Journals
- M. Kumagawa, H. Sunami, T. Terasaki, and J. Nishizawa, “Epitaxial Growth with Light Irradiation,” Japan. J. Appl. Phys., Vol. 7, No. 11, pp. 1331-1341, 1968.
- H. Sunami, T. Terasaki, N. Miyamoto, and J. Nishizawa, “Surface Orientation Effect of the Shadow of the Stacking Fault, ” J. Appl. Phys., Vol. 40, No. 11, pp. 4671-4673, 1969.
- H. Sunami, Y. Itoh, and K. Satoh, “Stress and Thermal Expansion Coefficient of Chemica1-Vapor-Deposited Glass Films,” J. Appl. Phys. Vol. 41, No. 13, pp. 5115-5117, 1970.
- M. Tamura and H. Sunami, “Generation of Dislocations Induced by Chemical Vapor Deposited Si3N4 Films on Silicon, ” Japan. J. Appl. Phys. Vol. 11, No. 8, pp. 1097-1105, 1972.
- H. Sunami, Y. Kamigaki, and Y. Itoh, “A Charge Transfer Model in CCD and the Experimental Verification,” Trans. Inst. Electronics Comm. Engrs, Japan, Vol. 55, No. 11, pp. 26-27, 1972.
- Hideo Sunami, Yoshiaki Kamigaki, and Yokichi Itoh, "Charge Transfer Model of CCD and Its Experimental Verification, " (in Japanese) IEICE(C), Vol. 55-C, No. 11, pp. 586-593, 1972 (角南英夫, 神垣良昭, 伊藤容吉, “CCDの電荷移送モデルとその実験的確証,” 信学論(C), 第55-C巻, 第11号, 586-593頁, 1972).
- Y. Kamigaki, H. Sunami, and Y. Itoh, “Bias Charge Optimization of High Speed CCD Operation,” Supplement to J. Japan Soc. Appl. Phys., Vol. 42, pp. 201-209, 1973.
- I. Takemoto, H. Sunami, S. Ohba, M. Aoki, and M. Kubo, “Bulk Charge-Transfer Device,” Supplement to J. Japan Soc. App. Phys., Vol. 43, No. 8, pp. 264-268, 1974.
- P. E. Gregory, P. W. Chye, H. Sunami, and W. E. Spicer, “The oxidation of Cs-uv photoemission studies, ” J. Appl. Phys., Vol. 46, No. 8, pp. 3525-3529, 1975.
- P. W. Chye, T. Sukegawa, I. A. Babalola, H. Sunami, P. Gregory, and W. E. Spicer, “Surface and interface states of GaSb:A photoemission study, ” Phys. Rev. B, Vol. 15, No. 4, pp. 2118-2126, 1977.
- T. Matsuzawa, H. Sunami, and N. Hashimoto, “Analysis of Superposition Errors in Wafer Fabrication,” Microelectron. Reliab., Vol. 16, pp. 173-176, 1977.
- H. Sunami, “Thermal Oxidation of Phosphorus Doped Polycrystalline Silicon in Wet Oxygen,” J. Electrochem. Soc., Vol. 125, No. 6, pp. 892-897, 1978.
- H. Sunami and M. Koyanagi, “Selective Oxide Coating of Silicon Gate (SELOCS),” Supplement to Japan. J. Appl. Phys., Vol. 18-1, pp. 255-260, 1979.
- M. Koyanagi, H. Sunami, and N. Hashimoto, “Novel High Density, Stacked Capacitor MOS RAM,” Supplement to Japan. J. Appl. Phys., Vol. 18-1, pp. 35-42, 1979.
- H. Sunami, M. Koyanagi, and T. Hashimoto, “Intermediate Oxide Formation in Double Polysilicon Gate MOS Structure,” J. Electrochem. Soc., Vol. 127, No. 11, pp. 2499-2506, 1980.
- H. Sunami, Y. Wada, and N. Hashimoto, “Experimental Characterization of MOST‘s Scaled Down to the 1?m Level,” Microelectron. Reliab., Vol. 20, No. 6, pp. 803-822, 1980.
- Y. Wada, H. Sunami, and N. Hashimoto, “Electrical Testing for Process Evaluations,” Microelectron. Reliab., Vol. 21, No. 2, pp. 159-163, 1981.
- H. Sunami, K. Shimohigashi, and N. Hashimoto, “Characterization of A Buried Channel Graded-Drain with Punchthrough Stopper (BGP) NMOS Device,” IEEE Trans. Electron Devices, Vol. ED-29, No. 4 , pp. 607-610, 1982.
- K. Itoh and H. Sunami, “High Density One-Device Dynamic MOS Memory Cells,” IEE Proc. 130, Pt. I, No. 3, pp. 127-135, 1983.
- H. Sunami, T. Kure, N. Hashimoto, K. Itoh, T. Toyabe, and S. Asai, “A Corrugated Capacitor Cell (CCC) for Megabit Dynamic MOS Memories,” IEEE Electron Device Lett., Vol. EDL-4, No. 4, pp. 90-91, 1983.
- H. Sunami, K. Shimohigashi, and N. Hashimoto, “An Optically Defined 1.3?m NMOS Ring Oscillator,” IEEE Electron Device Lett., Vol. EDL-4, No. 9, pp. 311-313, 1983.
- H. Sunami, T. Kure, N. Hashimoto, K. Itoh, T. Toyabe, and S. Asai, “A Corrugated Capacitor Cell (CCC),” IEEE Trans. Electron Devices, Vol. ED-31, No. 6, pp. 746-753, 1984 (recipient of 1984 IEEE Paul Rppaport Award).
- H. Sunami, Y. Kawamoto, K. Shimohigashi, and N. Hashimoto, “An Improved Planar Isolation with Buried-Channel MOSFET’s,” Microelectron. Reliab., Vol. 24, No. 3, pp. 555-577, 1984.
- K. Miyake, S. Kimura, T. Warabisako, H. Sunami, and T. Tokuyama, “Microwave plasma stream transport system for low temperature plasma oxidation,” J. Vac. Sci. Tech. A, Vol. 2, No. 2, Part 1, pp. 496-499, 1984.
- R. Hori, K. Itoh, J. Etoh, S. Asai, N. Hashimoto, K. Yagi, and H. Sunami, “An experimental 1Mbit DRAM based on high S/N design,” IEEE J. Solid State Circuits, Vol. SC-19, No. 5, pp. 634-640, 1984.
- K. Yamaguchi, R. Nishimura, T. Hagiwara, and H. Sunami, “Two-Dimensional Numerical Model of Memory Devices with a Corrugated Capacitor Cell (CCC) Structure,” IEEE Trans. Electron Devices, Vol. ED-32, No. 2, pp. 282-289, 1985.
- S. Kimura, E. Murakami, K. Miyake, T. Warabisako, H. Sunami, and T. Tokuyama, “Low Temperature Oxidation of Silicon in a Microwave-Discharged Oxygen Plasma,” J. Electrochem. Soc., Vol. 132, No. 6, pp. 1460-1466, 1985.
- H. Sunami, T. Kure, K. Yagi, K. Yamaguchi, and S. Shimizu, “Scaling Consideration and Dielectric Breakdown Improvement of Corrugated Capacitor Cell (CCC) for Future dRAM,” IEEE Trans. Electron Devices, Vol. ED-32, No. 2, pp. 296-303, 1985.
- M. Moniwa, M. Miyao, R. Tsuchiyama, A. Ishizaka, M. Ichikawa, H. Sunami, and T. Tokuyama, “Preferential nucleation along SiO2 steps in amorphous Si,” Appl. Phys. Lett., Vol. 47, No. 2, pp. 113-115, 1985.
- M. Ohkura, M. Ichikawa, M. Miyao, H. Sunami, and T. Tokuyama, “Two-Dimensional Dynamic Numerical Simulation of an SOI Formation Process in Laser-Induced Seeded Lateral Growth,” IEEE Trans. Electron Devices, Vol. ED-32, No. 7, pp. 1347-1352, 1985.
- T. Matsuzawa, T. Ito, M. Tanuma, N. Hasegawa, and H. Sunami, “A Three Dimensional Photoresist Image Simulator : TRIPS-I,” IEEE Electron Device Lett., Vol. EDL-6, No. 8, pp. 416-418, 1985.
- S.-I. Kimura, E. Murakami, T. Warabisako, H. Sunami, anfd T. Tokuyama, “Low-Teperature Fabrication of MOSFET’s Utilizing a Microwave-Exicited Plasma Oxidation Technique,” IEEE Electron Device Lett., Vol. EDL-7, No. 1, pp. 38-40, 1986.
- T. Kure, T. Komoda, H. Sunami, S. Okazaki, and T. Hayashida, “EXAD: A Novel Electron-Beam X-ray Absorption Method of Nondestructive Depth Measurement for Silicon Trenches,” IEEE Electron Device Lett., Vol. EDL-7, No. 12, pp. 703-704, 1986.
- S. Yamamoto, T. Kure, H. Ohgo, T. Matsuzawa, S. Tachi, and H. Sunami, “A Two-Dimensional Etching Profile Simulator : ESPRIT,” IEEE Trans. Computer-Aided Design, Vol. CAD-6, No. 3, pp. 417-422, 1987.
- A. Moniwa, T. Matsuzawa, T. Ito, and H. Sunami, “A Three-Dimensional Photoresist Imaging Process Simulator for Strong Standing-Wave Effect Environment,” IEEE Trans. Compute-Aided Design, Vol. CAD-6, No. 3, pp. 431-438, 1987.
- H. Ohgo, Y. Takano, A. Moniwa, S. Yamamoto, Y. Sakai, H. Masuda, and H. Sunami, “A Two-Dimensional Integrated Process Simulator:SPIRIT-I,” IEEE Trans. Computer-Aided Design, Vol. CAD-6, No. 3, pp. 439-445, 1987.
- T. Matsuzawa, A. Moniwa, N. Hasegawa and H. Sunami, “Two Dimensional Simulation of Photolithography on Reflective Stepped Surface,” IEEE Trans. Computer-Aided Design, Vol. CAD-6, No.3, pp.446-451, 1987.
- S. Kimura, E. Murakami, T. Warabisako, E. Mitani, and H. Sunami, “An 18O study of oxygen exchange phenomena during microwave-discharge plasma oxidation of silicon,” J. Appl. Phys., Vol. 63, No. 9, pp.4655-4660, 1988.
- T. Kaga, Y. Kawamoto, T. Kure, Y. Nakagome, H. Aoki, H. Sunami, T. Makino, N. Ohki, and K. Itoh, “Half-Vcc Sheath-Plate Capacitor DRAM Cell with Self-Aligned Buried Plate Wiring,” IEEE Trans. Electron Devices, Vol. 35, No. 8, pp. 1257-1263, 1988.
- M. Aoki, Y. Nakagome, M. Horiguchi, H. Tanaka, S. Ikenaga, J. Etoh, Y. Kawamoto, S. Kimura, E. Takeda, H. Sunami, and K. Itoh, “A 60-ns l6-Mbit CMOS DRAM with a Transposed Data-Line Structure,” IEEE J. Solid State Circuits, Vol. 23, No. 5, pp. 1113-1119, 1988.
- M. Ohkura, K. Kusukawa, and H. Sunami, “Beam Induced Seeded Lateral Epitaxy with Suppressed Impurity Diffusion for a Three-Dimensional DRAM Cell Fabrication,” IEEE Trans. Electron Devices, Vol. 36, No. 2, pp. 333-339, 1989.
- S. Kimura, Y. Kawamoto, T. Kure, N. Hasegawa, T. Kisu, J. Etoh, H. Aoki, E. Takeda, H. Sunami, and K. Itoh, “A Diagonal Active-Area Stacked Capacitor DRAM Cell with Storage Capacitor on Bit Line,” IEEE Trans. Electron Devices, Vol. 37, No. 3, pp. 737-743, 1990.
- Y. Takano, M. Ohgo, S. Yamamoto, and H. Sunami, “A versatile two-dimensional ion implantation simulator incorporated in an integrated process simulation system,” Microelectronic Engineering, Vol. 14, pp. 13-22, 1991.
- K. Itoh, H. Sunami, K. Nakazato, and M. Horiguchi, “Pathways to DRAM Design and Technology for the 21st Century,” the 193rd Electrochemical Society Spring Meeting, Abs. No. 303, San Diego, California, May 3-8, 1998; Proceedings of the 8th Internat. Symp. Silicon Materials Science and Technology, Volume 98-1, pp. 350-369, 1998.
- (Hideo Sunami and Michio Suzuki, "Next generation integrated circuits fabrication line - future perspective of devicesand 300-mm in diameter fabrication line," (in Japanese), Aerosol Research, Vol. 14, No. 1, pp. 11-18, 1999 (角南英夫, 鈴木道夫, 「次世代集積回路と製造ライン - 今後のデバイス展望と300mmウェハ製造ラインの動向 - 」,エアロゾル研究, 第14巻, 第1号, pp. 11-18, 1999).
- A. Nakajima, T. Yoshimoto, T. Kidera, K. Obata, S. Yokoyama, H. Sunami, and M. Hirose, “Atomic-layer-deposited silicon-nitride/SiO2 stacked gate dielectriocs for highly reliable p-metal-oxide-semiconductor field-effect transistors,” Appl. Phys. Lett., Vol. 77, No. 18, pp. 2855-2857, 30 October 2000.
- A. Nakajima, T. Yoshimoto, T. Kidera, K. Obata, S. Yokoyama, H. Sunami, and M. Hirose, “Characterization of atomic-layer-deposited silicon nitride/SiO2 stacked gate dielectrics for highly reliable p-metal-oxide-semiconductor field-effect transistors,” J. Vac. Sci. Tech. B, Vol. 19, pp. 1138-1143, 2001.
- Shin Yokoyama, Takenobu Yoshino, Kentaro Shibahara, Anri Nakajima, Takamaro Kikkawa, Hideo Sunami, and Quiz D. M. Khosru, "Influence of preservation ambient to MOS device characteristics," (in Japanese), Aerosol Research, Vol. 17, No. 2, , pp. 96-104, 2002 (横山新, 吉野雄信,芝原健太郎,中島安理,吉川公麿,角南英夫, Quiz D. M. Khosru, “ウェハ保管環境のMOSデバイス特性への影響,” エアロゾル研究, 第17巻, 第2号, pp. 96-104, 2002) .
- T. Furukawa, H. Yamashita, and H. Sunami, “A Proposal of Corrugated-Channel Transistor (CCT) with Vertically-Formed Channels for Area-Conscious Applications,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 42, Part 1, No. 4B, pp. 2067-2072, April 2003.
- A. Takase, T. Kidera, and H. Sunami, “Field-Shield Trench Isolation with Self-Aligned Field Oxide,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 42, Part 1, No. 4B, pp. 2100-2105, April 2003.
- Hideo Sunami, "ULSI perspective and expectations to high polymer materials," (in Japanese), Vol. 52, No. 8, pp. 546-550、2003 (角南英夫,「ULSIの将来展望と高分子材料への期待 」, 高分子, 第52巻, 8月号, pp. 546-550、2003).
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- K. Kobayashi, T. Eto, K. Okuyama, K. Shibahara, and H. Sunami, "Application of Arsenic Plasma Doping in Three-Dimensional MOS Transistors and the Doping Profile Evaluation," Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 44, No. 4B, pp. 2273-2278, April 2005.
- H. Sunami S. Matsumura, K. Yoshikawa, and K. Okuyama, "High-aspect-ratio structure formation techniques for three-dimensional metal-oxide-semiconductor transistors," Microelectronic Engineering, Vol. 83, pp. 1740-1744, 2006 .
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- Kei Kobayashi, Kiyoshi Okuyama, and Hideo Sunami, “Plasma doping induced damages associated with source/drain fomrmation in three-dimensional beam-channel MOS transistor,” Microelectronic Engineering, Vol. 84, pp. 1631-1634, 2007.
- K. Okuyama, K. Yoshikawa, and H. Sunami, “Control of Subthreshold-Characteristics of Narrow- channel SOI nMOS Transistor Utilized Additional Side Gate Electrodes,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 46, No. 4B, pp. 2050-2053, 2007.
- Hideo Sunami, “The Role of the Trench Capacitor in DRAM Innovation,” IEEE SSCS News, Vol. 13, No.1, pp. 42-44, Winter 2008.
- Kiyoshi Okuyama, Atsushi Sugimura, and Hideo Sunami, “Optimized Silicidation Technique for Source and Drain of Fin-Type Field-Effect Transistor,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 47, No. 4, pp. 2407-2409, 2008.
- Tomoki Hirata, Kenta Kajikawa, Tetsuo Tabei, and Hideo Sunami, “Proposal of a Metal-Oxide- Semiconductor Silicon Optical Modulator Based on Inversion-Carrier Absorption,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 47, No. 4, pp. 2906-2909, 2008.
- Kenta Kajikawa, Tetsuo Tabei, and Hideo Sunami, “An infrared Silicon Optical Modulator of Metal-Oxide-Semiconductor Capacitor Based on Accumulation-Carrier Absorption,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 48, No. 4, pp. 04C107-1-4, 2009.
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国際学会発表 / International Conference Presentation
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- A. Takase, T. Kidera, and H. Sunami, “Field-Shield Trench Isolation with Self-Aligned Field Oxide,” Extended Abstracts of International Symp. on Solid State Devices and Materials, Abs. No. A-7-4, pp. 694-695, Nagoya, Sept. 17-19, 2002.
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- H. Sunami, K. Kobayashi, and S. Matsumura, “Integrated Power Transistor Application of Three- Dimensional Sidewall-Channel MOS Transistor (invited),” Proc. the 7th International Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology (ICSICT 2004), Abs. No. A7.3, pp. 336-339, Beijin, China, Oct. 18-21, 2004.
- H. Sunami, “Recent Activities for Nano-device and Process Technology Development in the 21st COE: Nanoelectronics for Terabit Information Processing,” Tech. Dig. 2004 International Symposium on Nano Science and Technology, pp. 3-8, Tainan, Taiwan, Nov. 20-21, 2004.
- A. Iwata, M. Sasaki, T. Kikkawa, S. Kameda, H. Ando, K. Kimoto, D. Arizono, and H. Sunami, “A 3D Integration Scheme utilizing Wireless Interconnections for Implementing Hyper Brain,” ISSCC Tech. Dig., pp. 262-263, Feb. 2005.
- T. Tabei, K. Maeda, S. Yokoyama, and H. Sunami, “Fabrication of spin-coat optical waveguides for optically interconnected LSI and influence of fabrication process on lower layer MOS capacitors,” Extended Abstracts of International Symp. on Solid State Devices and Materials, Abs. No. E-4-4, pp. 332-333, Tokyo, Sept. 13-15, 2005.
- H. Sunami and K. Okuyama, “High-Aspect-Ratio Structure Formation Techniques for Three- Dimensional Metal-Oxide-Semiconductor Transistors,” Abstract of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering, No. 11B_03, Sept. 19-22, Vienna, Austria, 2005.
- K. Okuyama, K. Yoshikawa, and H. Sunami, “Characterization of Subthreshold Behavior of Narrow-Channel SOI nMOSFET with Additional Side-Gate Electrodes,” Extended Abstracts of International Symp. on Solid State Devices and Materials, pp. 506-507, Tokyo, Sept. 13-15, 2006.
- Kei Kobayashi, Kiyoshi Okuyama, and Hideo Sunami, “Plasma-Doping Induced Damages Associated with Source/Drain Formation in Beam-Channel MOS Transistor on 1-mm Thick SOI Substrate,” Abstract of 32nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering, pp. 493-494, Sept. 17-20, Barcelona, Spain, 2006.
- S. Matsumura, A. Sugimura, K. Okuyama, and H. Sunami, “Anomalous Whisker Generation in Ni-Silicided Source and Drain for Three-Dimensional Beam-Channel MOS Transistor on SOI Substrate,” Abstract of Advanced Metallization Conference, pp. 90-91, Sept. 25-27, Tokyo, 2006.
- K. Okuyama, K. Yoshikawa, and H. Sunami “Proposal of 3-Dimensional Independent Triple-Gate MOS Transist with Dynamic Current Control,” 14th International Symposium on VLSI Technology, Systems, and Applications (2007 VLSI-TSA), Hsinchu, Taiwan, April 23-25, 2007.
- Kiyoshi. Okuyama, Atsushi. Sugimura, and Hideo Sunami, “An Optimized Silicidation Technique for Source and Drain of FINFET,” Extended Abstracts of International Symp. on Solid State Devices and Materials, pp. 1044-1045, Tokyo, Sept. 19-21, 2007.
- Tomoki Hirata, Kenta Kajikawa, Tetsuo Tabei, and Hideo Sunami, “Proposal of a Silicon Optical Modulator Based on Inversion-Carrier Absorption,” Extended Abstracts of International Symp. on Solid State Devices and Materials, pp. 280-281, Tokyo, Sept. 19-21, 2007.
- Tetsuo Tabei, Tomoki Hirata, Kenta Kajikawa, and Hideo Sunami, “Potentiality of Silicon Optical Modulator Based on Free-Carrier Absorption,” Technical Digest of IEEE Internat. Electron Devices Meeting, pp. 1023-1026, Washington, D. C., Dec. 10-12, 2007.
- Hideo Sunami, “The invention and development of the first trench capacitor DRAM cell,” CMOS Emerging Technologies Workshop, Session 4, Vancouver, Canada, August 5-7, 2008.
- Youichi Ashida, Kiyoshi Okuyama, and Hideo Sunami, “Proposal of a metal-gas-semiconductor field-effect transistor, MGSFET with potential catastrophic-breakdown hardness,” Abstract of 34th International Conference on Micro and Nano Engineering, Abs. No. NED-P16, Athens, Greece, Sept. 15-18, 2008.
- Atsushi Sugimura, Kiyoshi Okuyama, and Hideo Sunami, “A Vertical-Channel Metal-Oxide- Semiconductor Field-Effect Transistor with Fully-Oxidized Silicon Beam Isolation,” Extended Abstracts of International Symp. on Solid State Devices and Materials, P-3-8, Tokyo, Sept. 23-26, 2008.
- Kenta Kajikawa, Tetsuo Tabei, and Hideo Sunami, “Silicon Optical Modulator Based on Accumulation-Carrier Absorption of Metal-Oxide-Semiconductor Capacitor Waveguide,” Extended Abstracts of International Symp. on Solid State Devices and Materials, Abs. No. E-2-2, Tokyo, Sept. 23-26, 2008.
- Hideo Sunami, “Development of three-dimensional MOS structures from trench-capacitor DRAM cell to pillar-type transistor,” Proc. the 9th International Conference on Solid-State and Integrated- Circuit Technology, pp. 853-856, Beijin, China, October 20-23, 2008.
- T. Tabei, K. Maeda, S. Yokoyama, and H. Sunami, “Monolithic Integaration of Si-Dot Light Emitting Diodes,” Extended Abstracts of International Symp. on Solid State Devices and Materials, Abs. No. I-2-d, Sendai, Oct. 7-9, 2009.
国内学会発表 / Domestic Conference Presentation
- 熊川征治、 角南英夫、西澤潤一、「気相成長法に於ける光照射の効旺と成長層の結晶性」、昭和41年度電気通信学会全国大会、予稿集No. S86、pp. 155-156、1966年.
- 角南英夫、熊川征治、西澤潤一、「唖相差顕微法及び多重干渉法を用いたシリコンエピタキシャル成長表蔓の観察」、電子通信学会創立50周年記念全国大会(昭和42年度) 、予稿集No. 777、1967年.
- 熊川征治、角南英夫、寺崎健、西澤潤一、「シリコンの気相成長における光照射の効旺と格子欠陥」電子通信学会半導体・トランジスタ研究会、資料No. SSD67-11(1967-08) 、pp. 1-15、1967年8月25日.
- 角南英夫、寺崎健、西澤潤一、「気相成長シリコン結晶中の積層欠陥」、日本学術振興会、薄膜第131委貝会、第38回研究会資料No. 185、pp. 5-14、1968年7月20日.
- 西澤潤一、熊川征治、角南英夫、「Si気相エピタキシヤル成長層における格子欠陥」、昭和43年電気四学会連合大会、予稿集No. S73、pp. 11-14、1968年.
- 角南英夫、寺崎健、宮本信雄、西澤潤一、「シリコンの気相成長層の構造欠陥」、電気学会、トランジスタ専門委員会資料、1969年1月27日.
- 角南英夫、寺崎健、宮木信雄、西澤潤一、「シリコンのエピタキシヤル層の構造欠陥」、電子通信学会半導体・トランジスタ研究会、資料No. SSD69-10(1969-06)、pp. 1-15、1969年6月26日.
- 伊藤容吉、角南英夫、神垣良昭、「Charge Transfer Characteristics in CCD」、日本学術振興会、薄膜第131委貫会、第57回研究会資料No. 307、pp. 1-3、1971年12月6日.
- 神垣良昭、角南英夫、伊藤容吉、「Charge Transfer Model in CCD (1) Theory」、1972年春季第19回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No. 3a-C-3、p. 365、千葉大学、1972年4月3日.
- 伊藤容吉、角南英夫、高岡スミ子、神垣良昭、「Charge Transfer Model in CCD (1) Image Simulation」、1972年春季第19回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No. 3a-C-5、p. 367、千葉大学、1972年4月3日.
- 伊藤容吉、神垣良昭、角南英夫、「CCDの画像処理シミユレーション」、テレビジョン学会、テレピジョン電子装置研究委員会資料、pp. 1-23、1973年3月7日.
- 神垣良昭、角南英夫、伊藤容吉、「CCDにおける信号電荷の再生」、1973年春季第20回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No.29a-P-3、p. 237、慶応大学、東京、1973年3月28-31日.
- 角南英夫、伊藤容吉、佐藤喜久治、「多層配線集積回路の低応力ガラス絶縁膜」昭和45年度電子通信学会全国大会、予稿集No. 708、p. 767、1970年8月.
- 角南英夫、伊藤容吉、「半導体素子に用いられる薄膜の真性応力と熱膨張係数の測定法」、昭和46年電気学会全国大会、予稿集No. 1166、p. 577、徳島大学、1971年3月.
- 角南英夫、神垣良昭、伊藤容吉、「CCDによる電荷移送の動作実験」、1971年(昭和46年) 秋季第32回応用物理学会学術講演会、予稿集No. 1a -H-5、p. 158、大阪大学、大阪、1971年11月1日.
- 角南英夫、神垣良昭、伊藤容吉、「CCDの電荷移送機構」、電子通信学会半導体・トランジスタ研究会、資料No. SSD71-68(1972-02) 、pp. 1-14、1972年2月24日.
- 角南英夫、神垣良昭、伊藤容吉、「CCDにおける電荷移送モデル」、昭和47年電子通信学会全国大会、予稿集No. 976、p. 1048、東京、1972年3月.
- 角南英夫、神垣良昭、伊藤容吉、「n-チャネルCCDの基礎実験」、1973年春季第20回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No. 29a-P-2、p. 236、慶応大学、東京、1973年3月28-31日.
- 角南英夫、神垣良昭、伊藤容吉、「CCD電荷移送のバイアス電荷効旺」、1975年春季第22回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No. 2a-C-2、p. 39、千葉工業大学、千葉、1975年4月14日.
- 角南英夫、小柳光正、「シリコンゲートの選択酸化膜被覆技術(SELOCS) 」、電子通信学会半導体・トランジスタ研究会、資料No. SSD77-26、pp. 27-36、1977年8月24日.
- 角南英夫、「リン添加多結晶シリコンの熱酸化機構」、1978年秋季第39回応用物理学会学術講演会、予橋集、No. 5a-X-6、p. 433、近畿大学、大阪、1978年11月3-5日.
- 角南英夫、和田恭雄、橋本哲一、「短チャネル領域におけるMOSトランジスタの実効移動度」、1979年秋季第40回応用物理学会学術講演会、予稿集No. 1a-L-10、北海道大学、1979年9月30日-10月2日.
- 角南英夫、久禮得男、橋本哲一、伊藤清男、浅井彰二郎、「新ダイナミックメモリセル:CCC (Corrugated Capacitor Cell) 」、電気学会第6回半導体デバイス調査専門委員会、東京大学生産技術研究所、1983年2月l0日.
- 角南英夫、久禮得男、橋本哲一、伊藤清男、浅井彰二郎、「新ダイナミックメモリセル:CCC」、昭和58年度電子通信学会総合全国大会、予稿集No. S2-6、pp. 413-414、1983年4月2-4日.
- 大倉理、市川畠和、宮尾正信、角南英夫、「レーザー照射SOI形成の計算機シミユレーション」、1984年春季第31回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No.31a -U-2、p. 443、明治大学、東京、1984年3月29日-4月2日.
- 楠川喜久雄、大倉理、宮尾正信、角南英夫、「レーザー照射SOI形成の下層構造への影響」、1984年春季第31回応用物理学会閲係連合講演会、予稿集No. 31p-U-10、p. 449、明治大学、東京、1984年3月29日-4月2日.
- 木村紳一郎、村上英一、蕨迫光紀、三宅潔、角南英夫、「有磁場マイクロ波プラズマによるシリコンの低温酸化(I) 」、1984年春季第31回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No. 1p-U-1、p. 45、明治大学、東京、1984年3月29日-4月2日.
- 村上英一、末村紳一郎、三宅潔、蕨迫光紀、角南英夫、「有磁場マイクロ渡プラズマによるシリコンの低温酸化(II) 」、1984年春季第31回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No. 1p-U-2、p. 455、明治大学、東京、1984年3月29日-4月2日.
- 山口憲、西村玲子、萩原隆且、角南英夫、「メガビット級d RAM用溝型キヤパシタの二次元過渡解析」、1984年秋季第45回応用物理学会学術講演会、予稿集No. 14a-A-10、p. 409、岡山大学、1984年10月12日-15日.25) 角南英夫、「d RAMの限界:太規模化を妨げる因子とブレークスルー」、 日本電子工業振興協会、電子デバイス講演会、機械振興会館、東京、1985年7月1日.
- 山口憲、西村玲子、萩原隆且、角南英夫、「溝型キャパシタセルの三次元動作解析」、第32回春季応用物理学会関係運合講演会、予稿集No. la-E-9、p. 551、青山学院大学、東京、1985年3月29日-4月l日.
- 木村紳一郎、村上英一、蕨追光紀、角南英夫、「マイクロ波ブラズマによるシリコンの低温酸化」、電気学会、プラズマ研究会資料No. EP-85-3、pp. 17-24、1985年6月18日.
- 竹内幹、武田英次、平岩篤、鳥谷部達、角南英夫、伊藤清男、「溝型キャパシタにおける三次元リーク電流」、昭和60年秋季第46回応用物理学会学術講演会、予稿集No. 4a-V-6、p. 422、京都大学、京都、1985年10月l日-4日.
- 角南英夫、「0.5mm時代のプロセス・デバイス」、昭和63年度電子情報通信学会春季全国大会特腹企画、エレクトロニクスグルーブ講習会「0.5mm ULSIテクノロジー」予稿集、pp. 25-34、早稲田大学、東京、1988年3月29日.
- 加賀徹、川本佳史、中込儀延、青木正和、角南英夫、牧野藤八、大木長斗司、伊藤清男、「ハーフVcc鞘プレート容裏型DRAMセル」、昭和63年度電子通信学会春季全国大会予稿集、p. 2-181、早稲田大学、東京、1988年3月28日-31日.
- 角南英夫、「シリコンデバイスの将来と関連基礎研究のあるべき姿について」、(財) 新機能素子研究開発協会、第1回超高集積素子研究委貰会講演会、東京、1989年4月17日.
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- 角南英夫、「ULSI時代のシリコンテクノロジー」、応用物理学会、第17回薄膜・表蔓物埋セミナー予稿集、p. 112、機械振興会館、東京、1989年7月19日.
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- 高瀬明浩、角南英夫、「LSI素子分離におけるエッジ効果の低減」、第61回応用物理学会学術講演会、予稿集No. 5p-ZE-5、p. 782、北海道工業大学、札幌、2000年9月3日-9月7日.
- 古川智康、角南英夫、「ビームチャネルMOSFETによる赤外光スイッチの提案」、第61回応用物理学会学術講演会、予稿集No. 6p-ZK-1、p. 1227、北海道工業大学、札幌、2000年9月3日-9月7日.
- 片上朗、高瀬明浩、角南英夫、「ビームチャネルMOSFETにおけるゲート形成プロセス」、第62回応用物理学会学術講演会、予稿集No. 13a-P9-9、p. 688、愛知工業大学、名古屋、2001年9月11日-9月14日.
- 古川智康、角南英夫、「高い電流駆動能力を実現するBeam-Channel-MOSFETの電気特性」第49回応用物理学会関係連合講演会、予稿集No. 30a-H-9、p. 894、東海大学、神奈川、2002年3月27日-3月30日.
解説記事 / Review Articles
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- 橋本哲一、増原利明、角南英夫、萩原隆且、堀池靖浩、高須新一郎、「デバイスは0.2mmまで見通せるが、プロセスは光露光の先が見えない」、日経マイクロデバイス、1985年7月(創刊) 号、pp. 131-155.
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- 角南英夫, 後藤俊夫, 中段和宏, 春名正光, 伊藤一良, 石田祐三, 大津元一, 滝川恵宏, 山崎陽太郎, 鈴木実, 中西八郎, 松永準一, 中川格, 室谷利夫, 本間格, 大沢敏彦, 國谷保雄, 「第51回応用物理学会学術講演会(1990年)」, 応用物理, 第60巻, 第1号, pp. 70-81, 1991年.
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- 角南英夫、「困難になるセル微細化を新材料で乗り切る」、日経マイクロデバイス、1997年12月号、pp. 144-157.
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